Rakenduse tutvustus
Automatiseeritud materjalide ladustamine ja haldamine pooljuhtide tootmisel
Kehtib:
1. Suure tihedusega ladustamine, kõrge ruumikasutus, kõrguse ruumi täielik kasutamine
2.Kiire löök
3. Integreeritud tsehhi materjalihaldussüsteemi
4.Kiire rakendamine, automaatne tasemeõppe test
5. Ühildub ARV / OHT / OHS / käsitsi ja muude automaatsete protsessidega
6. Vastab Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 standardi ja ESD standarditele
Funktsiooni tutvustus
* Seda kasutatakse pooljuhtide võrgus salvestamiseks, FOUP, KASSETTI, ajakirja, salve ja muude toetamiseks
* Saab dokkida ARV-ga, toetab käsitsi laadimist ja mahalaadimist
* Vastab Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 standardi ja ESD standarditele
*Standardne SEMI tarkvaraliides
*Modulaarne disain
Plokk4. No.358 Jinhu Road, Pudongi piirkond, Shanghai, Hiina